E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様 StdPbc-0526 本仕様では標準的な

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Description

本仕様では標準的な

静電気の数々の制御方法は，静電気を許容レベルにまで制御するために装置設計に組み込むことができる。装置製造の問題は，SEMI E78で述べている。

4-points resistivity probes

SEMI 3D17-1217 (first published)

SEMI E125-1022 (technical revision)

E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様 StdPbc-0526 本仕様では標準的なglobal Physical Interfaces & Carriers Committee2010827global Audits and Reviews Subcommittee201010 www. semi. org199620053 300 mm Referenced SEMI Standards SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E19 Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E19. 4 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)

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